Вакуумна пещ, тоест в специфичното пространство на камерата на пещта, вакуумната система (внимателно сглобена от вакуумна помпа, устройство за измерване на вакуум, вакуумен клапан и други компоненти) се използва за изхвърляне на част от веществата в камерата на пещта, така че налягането в камерата на пещта е по-малко от стандартното атмосферно налягане и пространството в камерата на пещта се използва за постигане на вакуумно състояние, което е вакуумна пещ.
Вакуумната пещ е устройство, което се нагрява във вакуумна среда. Камерата на пещта е тръбопроводна към помпената система с висок вакуум в пещ, запечатана с капак от метал или кварцово стъкло. Степента на вакуум на пещта може да достигне 133×(10-2~10-4)Pa. Отоплителната система в пещта може да се нагрее директно чрез електрическо нагряване на съпротивителен проводник на пещ (като волфрамова жица) или може да се нагрее чрез високочестотна индукция. Максималната температура може да достигне около 3000 градуса. Използва се главно за изпичане на керамика, вакуумно топене, обезгазяване и отгряване на електрически вакуумни части, спояване на метални части и керамично-метално запечатване.
