Особеност
● Максимална температура RT-1200 градуса
● Разделен тип пещ, можете да отворите пещта.
● Може да въведе повече от 2 канала газ със степен на вакуум от 10 Pa, като използва механична помпа и 500 W RF захранване за подобряване на сигнала.
● Висококачествени изолационни материали от алуминиев оксид и керамични влакна
● Точност на контрол на температурата ±1 градус
● С функция за аларма за превишена температура
● Охлаждащият вентилатор може да намали температурата на корпуса
|
Модел |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Размери: Стандартна дължина на нагревателната зона (mm) |
440 мм |
|
Размери: Стандартен диаметър на тръбата (mm) |
∮60 мм |
|
Макс.температура |
1200 градуса, непрекъсната работна температура 1100 градуса. |
|
Напрежение (V) |
220 1P |
|
Тип термодвойка |
K |
|
Нагревателен елемент |
HRE Устойчива тел от сплав |
|
Темп.Прецизност |
±1 градус |
|
Скорост на нагряване |
0-30 градуса/мин безплатна настройка |
|
Материал на камерата |
Използване на усъвършенстван висококачествен микрокристален материал от алуминиев оксид |
|
Конструкция на пещта |
Двуслойна структура с въздушно охлаждане, повърхностната температура е под 60 градуса |
|
Регулатор на температурата |
Интелигентен PID контролер на температурата, 30 програмни сегмента, SSR контрол, функция за самонастройка на PID параметрите; програма за повишаване на температурата, програма за запазване на топлината, програма за охлаждане |
|
500W RF захранване |
Изходна мощност: 5-500W ±1 градус RF честота: 13.56MHz ±0.005% Отразена мощност: до 100W Съвпадение: Автоматично RF интерфейс: 50Ω, N-тип Охлаждане: въздушно охлаждане Захранване: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
Система за прецизен поток с 4 газови канала |
1. Дебит в пълна скала (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10л/мин. 2. Тип вентил: Solenold клапан. 3. Положение на вентила: Нормално затворено. 4. Диференциално налягане: (50-300)kpa 5. Устойчивост на налягане: 3mpa. 6. Работна температура: 5-45 градуса 7. Материали: неръждаема стомана 316L. |
|
Вакуумна система |
5*10-3Pa KF25 бързо свързване, силфони от неръждаема стомана, ръчен клапан и фланец, вакуумна помпа Системите с по-висок вакуум също могат да бъдат оборудвани по избор.
|
|
ДОБРЕ ДОШЛИ OEM/ODM |
|
Стандартни аксесоари
Термични ръкавици|Кука за тигел|Термодвойка|Тръбен блок|Ръководство за потребителя |Инструменти|Вакуумна помпа| Кварцова тръба|Фланец|Уплътнителен пръстен|10 mm маркуч за газ|Опора за фланец, Газова система, RF мощност.
Не е задължително
Различна нагревателна зона по ваш избор;
LCD сензорен екран за управление за избор
RS485/USB порт за свързване на компютър по избор.
Подробна снимка за CVD-PECVD
Приложение
Това устройство се използва главно за отглеждане на нанопроводници или приготвяне на различни тънкослойни растежи чрез CVD метод.
Гаранция
Една година гаранция и доживотна техническа поддръжка
Специални съвети:
1. Консумативи като нагревателен елемент, кварцова тръба, тигел за проби и др. не са в рамките на гаранционния период.
2. Повреди, причинени от използването на корозивен газ и киселинен газ, не се покриват от гаранцията.
Популярни тагове: 1200c три нагревателни зони pecvd система, Китай 1200c три нагревателни зони pecvd система производители, доставчици
