1) Окисляването и обезвъглеродяването на повърхността на детайла по време на процеса на нагряване са напълно елиминирани и може да се получи чиста повърхност без влошаване на слоя. Това има голям ефект върху подобряването на производителността на рязане на инструменти, които са шлифовани само от едната страна по време на заточване (напр. шлифоване на спирални свредла с декарбуризиран слой върху повърхността на жлеба, директно изложен на режещия ръб).
2) Няма замърсяване на околната среда и няма нужда от трикратно третиране на отпадъци.
3) Точността на измерване и наблюдение на температурата в пещта е значително подобрена. Посочената стойност на термодвойката е ± 1,5 градуса от температурата на пещта. Температурната разлика на различните части на голям брой детайли в пещта обаче е голяма и ако тънкият газ се използва за принудителна циркулация, той все още може да се контролира в диапазона от ±5 градуса.
4) Висока степен на мехатроника. Въз основа на подобряването на измерването на температурата и точността на контрол, движението на детайла, регулирането на въздушното налягане, регулирането на мощността и т.н. могат да бъдат предварително програмирани и зададени, а закаляването и темперирането могат да се извършват стъпка по стъпка.
5) Консумацията на енергия е значително по-ниска от тази на пещите със солна баня. Модерната и усъвършенствана нагревателна камера за вакуумна пещ използва изолирани стени и прегради, изработени от висококачествени топлоизолационни материали, които могат силно да концентрират електрическата енергия за отопление в нагревателната камера, а ефектът на спестяване на енергия е забележителен.